Спосіб виготовлення плівок карбіду кремнію на підкладках поруватого кремнію: пат. 155666 Україна
Вантажиться...
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
ORCID
Видавець
ТДАТУ
Анотація
Корисна модель належить до способів виготовлення плівок карбіду кремнію на підкладках поруватого кремнію із застосуванням методу твердофазної епітаксії. Такі структури відіграють важливу роль при виготовленні фотодетекторів і сонячних елементів.
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Спосіб виготовлення плівок карбіду кремнію на підкладках поруватого кремнію: пат. 155666 Україна; МПК C30B 29/06, C30B 33/08 / Кідалов Валерій Віталійович, Дяденчук Альона Федорівна, Дьоміна Наталя Анатоліївна; Таврійський державний агротехнологічний університет імені Дмитра Моторного. - № u202302605; заявл. 29.05.2023, опубл. 27.03.2024, Бюл. № 13, 6 с.