Спосіб виготовлення плівок карбіду кремнію на підкладках поруватого кремнію. Опис до патенту на корисну модель № 155666. Україна
Вантажиться...
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
ORCID
Видавець
Анотація
Корисна модель належить до способів виготовлення плівок карбіду кремнію на підкладках поруватого кремнію із застосуванням методу твердофазної епітаксії. Такі структури відіграють важливу роль при виготовленні фотодетекторів і сонячних елементів.
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Спосіб виготовлення плівок карбіду кремнію на підкладках поруватого кремнію : опис до патенту на корисну модель 155666 Україна : МПК C30B 29/06 / Кідалов В. В., Дяденчук А. Ф., Дьоміна Н. А.; власник ТДАТУ; № u 2023 02605; заявл. 29.05.2023; опубл. 27.03.2024, Бюл.№ 13 – 4 с.