Спосіб виготовлення плівок карбіду кремнію на підкладках поруватого кремнію: пат. 155666 Україна

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКідалов, Валерій Віталійович
dc.contributor.authorKidalov, Valeriy
dc.contributor.authorДяденчук, Альона Федорівна
dc.contributor.authorDiadenchuk, Alona
dc.contributor.authorДьоміна, Наталя Анатоліївна
dc.contributor.authorDomina, Natalia
dc.date.accessioned2025-12-17T20:13:06Z
dc.date.issued2024
dc.description.abstractКорисна модель належить до способів виготовлення плівок карбіду кремнію на підкладках поруватого кремнію із застосуванням методу твердофазної епітаксії. Такі структури відіграють важливу роль при виготовленні фотодетекторів і сонячних елементів.
dc.identifier.citationСпосіб виготовлення плівок карбіду кремнію на підкладках поруватого кремнію: пат. 155666 Україна; МПК C30B 29/06, C30B 33/08 / Кідалов Валерій Віталійович, Дяденчук Альона Федорівна, Дьоміна Наталя Анатоліївна; Таврійський державний агротехнологічний університет імені Дмитра Моторного. - № u202302605; заявл. 29.05.2023, опубл. 27.03.2024, Бюл. № 13, 6 с.
dc.identifier.urihttps://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/19934
dc.language.isouk
dc.publisherТДАТУ
dc.subjectнапівпровідники
dc.subjectмонокристали
dc.subjectсинтез
dc.subjectНВЧ-електроніка
dc.titleСпосіб виготовлення плівок карбіду кремнію на підкладках поруватого кремнію: пат. 155666 Україна
dc.typeOther

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
155666-24.pdf
Розмір:
250.45 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Патенти