Спосіб виготовлення плівок карбіду кремнію на підкладках поруватого кремнію. Опис до патенту на корисну модель № 155666. Україна

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКідалов, Валерій Віталійович
dc.contributor.authorДяденчук, Альона Федорівна
dc.contributor.authorДьоміна, Наталя Анатоліївна
dc.date.accessioned2025-12-17T20:13:06Z
dc.date.issued2024
dc.description.abstractКорисна модель належить до способів виготовлення плівок карбіду кремнію на підкладках поруватого кремнію із застосуванням методу твердофазної епітаксії. Такі структури відіграють важливу роль при виготовленні фотодетекторів і сонячних елементів.
dc.identifier.citationСпосіб виготовлення плівок карбіду кремнію на підкладках поруватого кремнію : опис до патенту на корисну модель 155666 Україна : МПК C30B 29/06 / Кідалов В. В., Дяденчук А. Ф., Дьоміна Н. А.; власник ТДАТУ; № u 2023 02605; заявл. 29.05.2023; опубл. 27.03.2024, Бюл.№ 13 – 4 с.
dc.identifier.urihttps://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/19934
dc.language.isouk
dc.subjectнапівпровідники
dc.subjectмонокристали
dc.subjectсинтез
dc.subjectНВЧ-електроніка
dc.titleСпосіб виготовлення плівок карбіду кремнію на підкладках поруватого кремнію. Опис до патенту на корисну модель № 155666. Україна
dc.typeOther

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
155666-24.pdf
Розмір:
250.45 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Патенти