Опис до патенту на корисну модель № 134157 "Спосіб отримання плівок ZnO методом радикало-променевої гетеруючої епітаксії з УФ-опромінення"

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorРогозін, І. В.
dc.contributor.authorКідалов, В. В.
dc.contributor.authorДяденчук, Альона Федорівна
dc.contributor.authorДяденчук, Алена Федоровна
dc.contributor.authorDiadenchuk, Alona
dc.date.accessioned2020-03-31T14:59:03Z
dc.date.available2020-03-31T14:59:03Z
dc.date.issued2019
dc.description.abstractСпосіб отримання плівок ZnO, який включає вирощування плівок при опроміненні лазером, що характеризується значним поліпшенням кристалічності отриманих плівок, причому процес отримання плівок проводять методом радикало-променевої гетеруючої епітаксії на монокристалічних підкладках ZnS, ZnSe, ZnTe, орієнтованих в площині (111), а УФ-опромінення сприяє збільшенню швидкості росту плівки при температурі 520 Kuk
dc.identifier.urihttp://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/9989
dc.language.isoukuk
dc.publisherМіністерство економічного розвитку і торгівлі Україниuk
dc.subjectплівка ZnOuk
dc.subjectвирощування плівок при опроміненні лазеромuk
dc.subjectметодом радикалопроменевої гетеруючої епітаксії з УФ-опроміненняuk
dc.titleОпис до патенту на корисну модель № 134157 "Спосіб отримання плівок ZnO методом радикало-променевої гетеруючої епітаксії з УФ-опромінення"uk
dc.typeOtheruk

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
getdocument (9).pdf
Розмір:
224.75 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Патенти