Отримання плівок ZnO на макропоруватому Si (100) методом реактивного магнетронного розпилення

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКідалов, В. В.
dc.contributor.authorДяденчук, Альона Федорівна
dc.contributor.authorДяденчук, Алена Федоровна
dc.contributor.authorDiadenchuk, Alona
dc.contributor.authorБатурин, В. А.
dc.contributor.authorРогозін, І. В.
dc.contributor.authorБачеріков, Ю.Ю.
dc.contributor.authorЖук, А. Г.
dc.contributor.authorФілоненко, М. М.
dc.contributor.authorКарпенко, О. Ю.
dc.contributor.authorКідалов, В. В.
dc.date.accessioned2020-05-28T06:46:39Z
dc.date.available2020-05-28T06:46:39Z
dc.date.issued2018
dc.description.abstractUK: У даній роботі методом реактивного магнетронного ВЧ розпилення отримані плівки ZnO на підкладках кремнію орієнтації (100) з попередньо нанесеною системою макропор. Рентгенографічні дослідження ZnO показали, що вони мають полікристалічну природу з гексагональною решіткою типу вюрцит. Середні розміри кристалітів склали 12 нм. Мікроелементний аналіз виявив практично ідеальну стехіометричність ZnO вирощеного на porous-Si/Si. EN: In the present work, ZnO films on (100) silicon substrates with a pre-applied system of macropores were obtained by the method of reactive magnetron HF sputtering. X-ray studies of ZnO have shown that it has a polycrystalline nature with a hexagonal wurzite-type lattice. The average crystallite size was 12 nm. Trace element analysis revealed almost perfect stoichiometric ZnO grown on porous-Si/Si.uk
dc.identifier.urihttp://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/10855
dc.language.isoukuk
dc.publisherЗДІАuk
dc.relation.ispartofseriesЕлементи, прилади та системи електронної техніки (ЕПСЕТ-18): матеріали першої Міжнародної науково-практичної конференції;С. 23-25
dc.subjectреактивне магнетронне розпиленняuk
dc.subjectплівка ZnOuk
dc.subjectмакропоруватий Siuk
dc.subjectreactive magnetron sputteruk
dc.subjectZnO filmuk
dc.subjectmacroporous Siuk
dc.titleОтримання плівок ZnO на макропоруватому Si (100) методом реактивного магнетронного розпиленняuk
dc.typeArticleuk

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
3.3. Отримання плівок ZnO на макропоруватому Si (100) методом реактивного магнетронного розпилення.pdf
Розмір:
657.06 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Кафедра Вища математика та фізика