Опис до патенту на корисну модель № 132172 "Спосіб отримання плівок ZnO методом радикало-променевої гетеруючої епітаксії "
Вантажиться...
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
ORCID
Видавець
Міністерство економічного розвитку і торгівлі України
Анотація
Спосіб отримання плівки ZnO легованої азотом, за яким дана плівка отримана методом радикало-променевої гетеруючої епітаксії на підкладках ZnSe з використанням газу NO