Please use this identifier to cite or link to this item:
http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/9962| Title: | Опис до патенту на корисну модель № 132172 "Спосіб отримання плівок ZnO методом радикало-променевої гетеруючої епітаксії " |
| Authors: | Рогозін, І. В. Кідалов, В. В. Дяденчук, Альона Федорівна Дяденчук, Алена Федоровна Diadenchuk, Alona |
| Keywords: | плівка ZnO;сучасна техніка |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | Міністерство економічного розвитку і торгівлі України |
| Abstract: | Спосіб отримання плівки ZnO легованої азотом, за яким дана плівка отримана методом радикало-променевої гетеруючої епітаксії на підкладках ZnSe з використанням газу NO |
| URI: | http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/9962 |
| Appears in Collections: | Патенти |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| getdocument (6).pdf | 409.67 kB | Adobe PDF |  View/Open |
Show full item record
CORE Recommender
???jsp.display-item.check???
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.