Застосування математичних методів планування експерименту при розв'язанні практичних задач

Abstract

UA: В роботі досліджено методологію математичного планування експерименту та продемонстровано її практичне застосування для оптимізації технологічного процесу осадження тонких плівок методом магнетронного розпилення. На основі центрально-композиційного плану 2-го порядку з двома факторами побудовано адекватну регресійну модель, яка описує залежність швидкості осадження від керованих параметрів процесу. Представлений підхід дозволив скоротити кількість необхідних дослідів порівняно з класичними підходами, зберігаючи при цьому повноту інформації про досліджуваний об’єкт. /// EN: The paper investigates the methodology of mathematical experimental planning and demonstrates its practical application for optimizing the technological process of thin-film deposition by magnetron sputtering. Based on a second-order central composite plan with two factors, an adequate regression model that describes the dependence of the deposition rate on the controlled process parameters was constructed. The presented approach made it possible to reduce the number of required experiments compared to classical approaches, while preserving the completeness of information about the object under study.