Одержання та дослідження гетероструктури ZnO:Al/por-Si/Si

Abstract

UK: Методом золь-гель з наступним центрифугуванням одержано плівки ZnO:Al на поруватих підкладинках Si (111). Розглянуто вплив температури відпалу на кількості нанесення і сушіння шарів золю на стійкість плівки ZnO:Al, усадку й ущільнення плівки, фізичну стабільність і відшарування. RU: Методом золь-гель с последующим центрифугуванием получены пленки ZnO:Al на пористых подложках Si (111). Рассмотрено влияние температуры отжига и количества нанесения и сушки слоев золя на шероховатость поверхности, структурную устойчивость пленки ZnO:Al, усадку и уплотнение пленки, физическую стабильность и отслаивание. EN: Sol-gel method followed by centrifugation obtained film ZnO:Al porous substrates on Si (111). The influence of annealing application and drying of sol layers on the surface roughness, structural stability of ZnO:Al film, shrinkage and compaction of the film, physical stability and exfoliation considered.