Наноструктуровані плівкові гетероструктури як елемент сучасної напівпровідникової електроніки

Abstract

За останні роки інтерес до дослідження низькорозмірних напівпровідникових матеріалів істотно зріс, що пов’язано з широким використанням напівпровідникових гетероструктур у промисловому виробництві приладів оптоелектроніки та надвисокочастотної техніки. Із переходом від мікро- до нанотехнології складові елементи потребують постійного контролю і своєчасної модернізації. Для масового застосування бажаним є здешевлення виробництва таких приладів: заміна дорогих підкладок на більш дешеві, розробка дешевих технологій масового виробництва приладів тощо.