Синтез і характеристика тонкоплівкових гетероструктур на основі SiC

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorAbbasova, C.
dc.contributor.authorКідалов, Валерій Віталійович
dc.contributor.authorДяденчук, Альона Федорівна
dc.contributor.authorБатурін, В.
dc.contributor.authorКарпенко, O.
dc.contributor.authorГудименко, О.
dc.contributor.authorКідалов, В.
dc.date.accessioned2023-05-16T10:21:59Z
dc.date.available2023-05-16T10:21:59Z
dc.date.issued2022
dc.descriptionСинтез і характеристика тонкоплівкових гетероструктур на основі SiC / C. Abbasova, В. В. Кідалов, А. Ф. Дяденчук, В. Батурін, О. Карпенко, О. Гудименко, В. Кідалов // Розвиток сучасної науки та освіти: реалії, проблеми якості, інновації : матеріали ІІІ Міжнародної наук.-практ. інтернет-конференції, м. Запоріжжя, 30 вересня 2022 р. Запоріжжя : ТДАТУ, 2022. С. 12-16.uk
dc.description.abstractUA: У статті представлено технологію виготовлення гетероструктури ZnO/SiC/porous-Si/Si. В залежності від умов процесу осадження зразки були розділені на дві групи. Встановлено, що плівка ZnO на всіх зразках тісно пов’язана з підкладкою. Досліджено вплив тиску кисню на структурні властивості та параметри плівки ZnO. EN: The article presents the manufacturing technology of the ZnO/SiC/porous-Si/Si heterostructure. Depending on the conditions of the deposition process, the samples were divided into two groups. It was established that the ZnO film on all samples is closely connected to the substrate. The effect of oxygen pressure on the structural properties and parameters of the ZnO film was studied.uk
dc.identifier.urihttp://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/16723
dc.language.isoukuk
dc.publisherЗапоріжжя : ТДАТУuk
dc.subjectплівки SiC і ZnOuk
dc.subjectпоруватий Siuk
dc.subjectмагнетронне напиленняuk
dc.subjectfilms SiC and ZnOuk
dc.subjectporous Siuk
dc.subjectmagnetron sputteringuk
dc.titleСинтез і характеристика тонкоплівкових гетероструктур на основі SiCuk
dc.typeArticleuk
local.identifier.udc621.315.592uk

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
ІІІ_International_Scientific_and_Practical_Internet_Conference_2022_12-16.pdf
Розмір:
511.45 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Кафедра Вища математика та фізика