Дослідження оптичних та морфологічних властивостей плівок на основі нітридів металів

Abstract

UA: У роботі досліджено процес формування тонких нітридних плівок TiN, CuN та AgN методом реакційного магнетронного напилення та проаналізовано їх спектральні характеристики у видимому діапазоні. Показано, що магнетронне розпилення забезпечує отримання плівок із високою адгезією, стабільними структурними параметрами та відтворюваними оптичними властивостями. Модернізація спектрального комплексу КСВУ-12 дала змогу підвищити чутливість вимірювань і автоматизувати реєстрацію сигналів. Виявлені характерні максимуми поглинання на довжинах хвиль 450 та 570 нм інтерпретовано як локальні та колективні коливання у системі «метал-азот». Отримані результати підтверджують перспективність нітридів TiN, CuN та AgN для застосування в оптоелектроніці, зокрема у селективних оптичних фільтрах та елементах сонячної енергетики. /// EN: The paper investigates the process of forming thin nitride films of TiN, CuN and AgN by the method of reactive magnetron sputtering and analyzes their spectral characteristics in the visible range. It is shown that magnetron sputtering provides films with high adhesion, stable structural parameters and reproducible optical properties. The modernization of the spectral complex KSVU-12 made it possible to increase the sensitivity of measurements and automate signal registration. The characteristic absorption maxima detected at wavelengths of 450 and 570 nm were interpreted as local and collective oscillations in the “metal-nitrogen” system. The obtained results confirm the prospects of TiN, CuN and AgN nitrides for use in optoelectronics, in particular in selective optical filters and solar energy elements.