Опис до патенту на корисну модель № 134157 "Спосіб отримання плівок ZnO методом радикало-променевої гетеруючої епітаксії з УФ-опромінення"

Abstract

Спосіб отримання плівок ZnO, який включає вирощування плівок при опроміненні лазером, що характеризується значним поліпшенням кристалічності отриманих плівок, причому процес отримання плівок проводять методом радикало-променевої гетеруючої епітаксії на монокристалічних підкладках ZnS, ZnSe, ZnTe, орієнтованих в площині (111), а УФ-опромінення сприяє збільшенню швидкості росту плівки при температурі 520 K