Please use this identifier to cite or link to this item:
http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/9989| Title: | Опис до патенту на корисну модель № 134157 "Спосіб отримання плівок ZnO методом радикало-променевої гетеруючої епітаксії з УФ-опромінення" |
| Authors: | Рогозін, І. В. Кідалов, В. В. Дяденчук, Альона Федорівна Дяденчук, Алена Федоровна Diadenchuk, Alona |
| Keywords: | плівка ZnO;вирощування плівок при опроміненні лазером;методом радикалопроменевої гетеруючої епітаксії з УФ-опромінення |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | Міністерство економічного розвитку і торгівлі України |
| Abstract: | Спосіб отримання плівок ZnO, який включає вирощування плівок при опроміненні лазером, що характеризується значним поліпшенням кристалічності отриманих плівок, причому процес отримання плівок проводять методом радикало-променевої гетеруючої епітаксії на монокристалічних підкладках ZnS, ZnSe, ZnTe, орієнтованих в площині (111), а УФ-опромінення сприяє збільшенню швидкості росту плівки при температурі 520 K |
| URI: | http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/9989 |
| Appears in Collections: | Патенти |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| getdocument (9).pdf | 224.75 kB | Adobe PDF |  View/Open |
Show full item record
CORE Recommender
???jsp.display-item.check???
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.