Отримання поруватих напівпровідників методом електрохімічного травлення: монографія

Abstract

У монографії розглядаються проблеми пов'язані з отриманням поруватої поверхні напівпровідників групи А₃В₅ та А₂В₆ методом анодного електрохімічного травлення. Також розглядаються наявні види травлення матеріалів наводиться класифікація найбільш вивчених та застосованих в обробці напівпровідників. Особливу увагу приділено методу електрохімічного травлення. Описано основні стадії процесу цього виду травлення, склад, хімічні іа фізичні властивості кислот, що входять до складу електролітів, які використовуються під час електрохімічної обробки напівпровідників.