Оптичні методи вимірювання шорсткості поверхні

Abstract

Досліджено відбиття когерентного лазерного випромінювання від шорсткої поверхні та утворення спекл-структури. Розроблено експрес-метод вимірювання шорсткості поверхні, у якому використовують сингулярності спекл-структури відбитого світла та зразка поверхні з відомою шорсткістю.