ТАВРІЙСЬКИЙ ДЕРЖАВНИЙ
АГРОТЕХНОЛОГІЧНИЙ УНІВЕРСИТЕТ
ІМЕНІ ДМИТРА МОТОРНОГО
Tsatu logo DMYTRO MOTORNYI
TAVRIA STATE
AGROTECHNOLOGICAL UNIVERSITY
ISSN: 2524-0714

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/14655
Title: Технологія одержання плівок ZnO на поверхні мезопоруватого кремнію
Authors: Кідалов, Валерій Віталійович
Кидалов, Валерий Витальевич
Kidalov, Valerii
Дяденчук, Альона Федорівна
Дяденчук, Алена Федоровна
Diadenchuk, Alona
Батурін, В. А.
Карпенко, O. Ю.
Рогозін, І. В.
Бачеріков, Ю. Ю.
Жук, A. Г.
Keywords: плівка ZnO;мезопоруватий Si;високочастотне магнетронне розпилення;ZnO film;mesoporous Si;high-frequency magnetron sputtering
Issue Date: 2021
Publisher: Мелітополь: ТДАТУ
Series/Report no.: Розвиток сучасної науки та освіти: реалії, проблеми якості, інновації: матер. ІІ Міжнародної наук.-практ. інтернет-конф. (Мелітополь, 25-27 травня 2021 р.);С. 20-23
Abstract: UK: У даній роботі плівки ZnO отримані на мезопоруватих кремнієвих підкладках методом високочастотного магнетронного розпилення цинкової мішені в реакційній кисень-аргоновому газовому середовищі. Вивчено вплив поруватого шару на структурні властивості тонких плівок ZnO. Результати показали, що порувата кремнієва підкладка зменшує залишкові напруги і може бути використана для отримання якісних плівок ZnO. EN: In this work, ZnO films are obtained on mesoporous silicon substrates by high-frequency magnetron sputtering of zinc target in reactive oxygen-argon gas medium. The influence of the porous layer on the structural properties ZnO thin films has been studied. The results showed that the porous silicon substrate reduces residual stresses and can be used to obtain high-quality ZnO films.
URI: http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/14655
Appears in Collections:Кафедра Вища математика та фізика

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Кідалов 20-23.pdf902,61 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show full item record   




Google ScholarTM

Check


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.