Виготовлення та дослідження гетероструктури на основі CdS
Вантажиться...
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
ORCID
Видавець
Анотація
У роботі проаналізовано фізико-технологічні аспекти отримання плівок CdS на поверхні монокристалічного кремнію. Розглянута технологія дозволила отримати гетероструктуру з низьким
значенням залишкової деформації.