Виготовлення та дослідження гетероструктури на основі CdS
Loading...
Date
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
У роботі проаналізовано фізико-технологічні аспекти отримання плівок CdS на поверхні монокристалічного кремнію. Розглянута технологія дозволила отримати гетероструктуру з низьким
значенням залишкової деформації.