Одержання та дослідження гетероструктури ZnO:Al/por-SI/SI

Abstract

UK: Методом золь-гель з наступним центрифугуванням одержано плівки ZnO:Al на поруватих підкладинках Si (1 1 1). Розглянуто вплив температури відпалу та кількості нанесення і сушіння шарів золю на шорсткість поверхні, структурну стійкість плівки ZnO:Al, усадку й ущільнення плівки, фізичну стабільність і відшаровування. RU: Методом золь-гель с последующим центрифугированием получены пленки ZnO:Al на пористых подложках Si (1 1 1). Рассмотрено влияние температуры отжига и количества нанесения и сушки слоев золя на шероховатость поверхности, структурную устойчивость пленки ZnO:Al, усадку и уплотнение пленки, физическую стабильность и отслаивание. EN: Sol-gel method followed by centrifugation obtained film ZnO: Al porous substrates on Si (1 1 1). The influence of annealing temperature and the amount of application and drying of sol layers on the surface roughness, structural stability of ZnO:Al film, shrinkage and compaction of the film, physical stability and exfoliation are considered.