Tsatu logo
ISSN: 2524-0714

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/10768
Title: Пленки ZnO полученные на мезо- и макропористых подложках Si методом магнетронного напыления
Authors: Кидалов, В. В.
Дяденчук, Алена Федоровна
Дяденчук, Альона Федорівна
Diadenchuk, Alona
Бачериков, Ю. Ю.
Жук, А. Г.
Батурин, В. А.
Рогозин, И. В.
Филоненко, М. Н.
Карпенко, О. Ю.
Кидалов, В. В.
Keywords: оксид цинка;получение пленок ZnO;метод магнетронного напыления
Issue Date: 2019
Series/Report no.: Инновационные материалы и технологии: Международная научно-техническая конференция молодых ученых (Республика Беларусь 09-11 января 2019 г.);(С. 273-277)
Abstract: Одними из самых перспективных пленочных покрытий являются прозрачные проводящие оксидные покрытия, среди которых особое место занимает оксид цинка. Повышенный интерес вызван уникальной комбинацией оптических и электрофизических свойств оксида цинка. Оксид цинка (ZnO) имеет широкое технологическое применение, в частности, в фотоприемниках, коротковолновых полупроводниковых диодных излучателей (светоизлучающих диодах), тонкопленочных солнечных элементах, сенсорах газа, фотодетекторах и др. [1-2]. На данный момент остается актуальным вопрос о получении пленок оксида цинка с заданными функциональными характеристиками, способных найти широкое промышленное применение устройств на основе слоев ZnO.
URI: http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/10768
Appears in Collections:Кафедра Вища математика та фізика

Show full item record ???jsp.display-item.check???


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.