Browsing by Subject high-frequency magnetron sputtering
Showing results 1 to 2 of 2
Issue Date | Title | Author(s) |
2022 | ZnO/SiC/Porous-Si/Si Heterostructure: Obtaining and Properties. | Kidalov, Valeriy; Кідалов, Валерій Віталійович; Kladko, V. P.; Dyadenchuk, Alona; Дяденчук, Альона Федорівна; Gudymenko, A. F.; Baturin, V. A.; Karpenko, A. Yu.; Kidalov, V. V. |
2021 | Технологія одержання плівок ZnO на поверхні мезопоруватого кремнію | Кідалов, Валерій Віталійович; Кидалов, Валерий Витальевич; Kidalov, Valerii; Дяденчук, Альона Федорівна; Дяденчук, Алена Федоровна; Diadenchuk, Alona; Батурін, В. А.; Карпенко, O. Ю.; Рогозін, І. В.; Бачеріков, Ю. Ю.; Жук, A. Г. |