Опис до патенту на корисну модель № 134157 "Спосіб отримання плівок ZnO методом радикало-променевої гетеруючої епітаксії з УФ-опромінення"

Рогозін, І. В.; Кідалов, В. В.; Дяденчук, Альона Федорівна; Дяденчук, Алена Федоровна; Diadenchuk, Alona

ISSN: 2524-0714

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/9989

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Рогозін, І. В.	-
dc.contributor.author	Кідалов, В. В.	-
dc.contributor.author	Дяденчук, Альона Федорівна	-
dc.contributor.author	Дяденчук, Алена Федоровна	-
dc.contributor.author	Diadenchuk, Alona	-
dc.date.accessioned	2020-03-31T14:59:03Z	-
dc.date.available	2020-03-31T14:59:03Z	-
dc.date.issued	2019	-
dc.identifier.uri	http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/9989	-
dc.description.abstract	Спосіб отримання плівок ZnO, який включає вирощування плівок при опроміненні лазером, що характеризується значним поліпшенням кристалічності отриманих плівок, причому процес отримання плівок проводять методом радикало-променевої гетеруючої епітаксії на монокристалічних підкладках ZnS, ZnSe, ZnTe, орієнтованих в площині (111), а УФ-опромінення сприяє збільшенню швидкості росту плівки при температурі 520 K	uk
dc.language.iso	uk	uk
dc.publisher	Міністерство економічного розвитку і торгівлі України	uk
dc.subject	плівка ZnO	uk
dc.subject	вирощування плівок при опроміненні лазером	uk
dc.subject	методом радикалопроменевої гетеруючої епітаксії з УФ-опромінення	uk
dc.title	Опис до патенту на корисну модель № 134157 "Спосіб отримання плівок ZnO методом радикало-променевої гетеруючої епітаксії з УФ-опромінення"	uk
dc.type	Other	uk
Appears in Collections:	Патенти

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
getdocument (9).pdf		224.75 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record CORE Recommender ???jsp.display-item.check???