Please use this identifier to cite or link to this item:
http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/16723
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Abbasova, C. | - |
dc.contributor.author | Кідалов, Валерій Віталійович | - |
dc.contributor.author | Дяденчук, Альона Федорівна | - |
dc.contributor.author | Батурін, В. | - |
dc.contributor.author | Карпенко, O. | - |
dc.contributor.author | Гудименко, О. | - |
dc.contributor.author | Кідалов, В. | - |
dc.date.accessioned | 2023-05-16T10:21:59Z | - |
dc.date.available | 2023-05-16T10:21:59Z | - |
dc.date.issued | 2022 | - |
dc.identifier.uri | http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/16723 | - |
dc.description | Abbasova C., Кідалов В. В., Дяденчук А. Ф., Батурін В., Карпенко О., Гудименко О., Кідалов В. Синтез і характеристика тонкоплівкових гетероструктур на основі SiC. Розвиток сучасної науки та освіти : реалії, проблеми якості, інновації : матеріали ІІІ Міжнародної наук.-практ. інтернет-конференції (Запоріжжя, 30 вересня 2022 р.). Запоріжжя : ТДАТУ, 2022. С. 12-16. | uk |
dc.description.abstract | UA: У статті представлено технологію виготовлення гетероструктури ZnO/SiC/porous-Si/Si. В залежності від умов процесу осадження зразки були розділені на дві групи. Встановлено, що плівка ZnO на всіх зразках тісно пов’язана з підкладкою. Досліджено вплив тиску кисню на структурні властивості та параметри плівки ZnO. EN: The article presents the manufacturing technology of the ZnO/SiC/porous-Si/Si heterostructure. Depending on the conditions of the deposition process, the samples were divided into two groups. It was established that the ZnO film on all samples is closely connected to the substrate. The effect of oxygen pressure on the structural properties and parameters of the ZnO film was studied. | uk |
dc.language.iso | uk | uk |
dc.publisher | Запоріжжя : 2022 | uk |
dc.subject | плівки SiC і ZnO | uk |
dc.subject | поруватий Si | uk |
dc.subject | магнетронне напилення | uk |
dc.subject | films SiC and ZnO | uk |
dc.subject | porous Si | uk |
dc.subject | magnetron sputtering | uk |
dc.title | Синтез і характеристика тонкоплівкових гетероструктур на основі SiC | uk |
dc.type | Article | uk |
local.identifier.udc | 621.315.592 | uk |
Appears in Collections: | Кафедра Вища математика та фізика |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
ІІІ_International_Scientific_and_Practical_Internet_Conference_2022_12-16.pdf | 511.45 kB | Adobe PDF | View/Open |
Show simple item record
CORE Recommender
???jsp.display-item.check???
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.