Синтез і характеристика тонкоплівкових гетероструктур на основі SiC

Abbasova, C.; Кідалов, Валерій Віталійович; Дяденчук, Альона Федорівна; Батурін, В.; Карпенко, O.; Гудименко, О.; Кідалов, В.

ISSN: 2524-0714

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/16723

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Abbasova, C.	-
dc.contributor.author	Кідалов, Валерій Віталійович	-
dc.contributor.author	Дяденчук, Альона Федорівна	-
dc.contributor.author	Батурін, В.	-
dc.contributor.author	Карпенко, O.	-
dc.contributor.author	Гудименко, О.	-
dc.contributor.author	Кідалов, В.	-
dc.date.accessioned	2023-05-16T10:21:59Z	-
dc.date.available	2023-05-16T10:21:59Z	-
dc.date.issued	2022	-
dc.identifier.uri	http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/16723	-
dc.description	Abbasova C., Кідалов В. В., Дяденчук А. Ф., Батурін В., Карпенко О., Гудименко О., Кідалов В. Синтез і характеристика тонкоплівкових гетероструктур на основі SiC. Розвиток сучасної науки та освіти : реалії, проблеми якості, інновації : матеріали ІІІ Міжнародної наук.-практ. інтернет-конференції (Запоріжжя, 30 вересня 2022 р.). Запоріжжя : ТДАТУ, 2022. С. 12-16.	uk
dc.description.abstract	UA: У статті представлено технологію виготовлення гетероструктури ZnO/SiC/porous-Si/Si. В залежності від умов процесу осадження зразки були розділені на дві групи. Встановлено, що плівка ZnO на всіх зразках тісно пов’язана з підкладкою. Досліджено вплив тиску кисню на структурні властивості та параметри плівки ZnO. EN: The article presents the manufacturing technology of the ZnO/SiC/porous-Si/Si heterostructure. Depending on the conditions of the deposition process, the samples were divided into two groups. It was established that the ZnO film on all samples is closely connected to the substrate. The effect of oxygen pressure on the structural properties and parameters of the ZnO film was studied.	uk
dc.language.iso	uk	uk
dc.publisher	Запоріжжя : 2022	uk
dc.subject	плівки SiC і ZnO	uk
dc.subject	поруватий Si	uk
dc.subject	магнетронне напилення	uk
dc.subject	films SiC and ZnO	uk
dc.subject	porous Si	uk
dc.subject	magnetron sputtering	uk
dc.title	Синтез і характеристика тонкоплівкових гетероструктур на основі SiC	uk
dc.type	Article	uk
local.identifier.udc	621.315.592	uk
Appears in Collections:	Кафедра Вища математика та фізика

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
ІІІ_International_Scientific_and_Practical_Internet_Conference_2022_12-16.pdf		511.45 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record CORE Recommender ???jsp.display-item.check???