Please use this identifier to cite or link to this item:
http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/14655
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Кідалов, Валерій Віталійович | - |
dc.contributor.author | Кидалов, Валерий Витальевич | - |
dc.contributor.author | Kidalov, Valerii | - |
dc.contributor.author | Дяденчук, Альона Федорівна | - |
dc.contributor.author | Дяденчук, Алена Федоровна | - |
dc.contributor.author | Diadenchuk, Alona | - |
dc.contributor.author | Батурін, В. А. | - |
dc.contributor.author | Карпенко, O. Ю. | - |
dc.contributor.author | Рогозін, І. В. | - |
dc.contributor.author | Бачеріков, Ю. Ю. | - |
dc.contributor.author | Жук, A. Г. | - |
dc.date.accessioned | 2021-06-14T06:31:11Z | - |
dc.date.available | 2021-06-14T06:31:11Z | - |
dc.date.issued | 2021 | - |
dc.identifier.uri | http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/14655 | - |
dc.description.abstract | UK: У даній роботі плівки ZnO отримані на мезопоруватих кремнієвих підкладках методом високочастотного магнетронного розпилення цинкової мішені в реакційній кисень-аргоновому газовому середовищі. Вивчено вплив поруватого шару на структурні властивості тонких плівок ZnO. Результати показали, що порувата кремнієва підкладка зменшує залишкові напруги і може бути використана для отримання якісних плівок ZnO. EN: In this work, ZnO films are obtained on mesoporous silicon substrates by high-frequency magnetron sputtering of zinc target in reactive oxygen-argon gas medium. The influence of the porous layer on the structural properties ZnO thin films has been studied. The results showed that the porous silicon substrate reduces residual stresses and can be used to obtain high-quality ZnO films. | uk |
dc.language.iso | uk | uk |
dc.publisher | Мелітополь: ТДАТУ | uk |
dc.relation.ispartofseries | Розвиток сучасної науки та освіти: реалії, проблеми якості, інновації: матер. ІІ Міжнародної наук.-практ. інтернет-конф. (Мелітополь, 25-27 травня 2021 р.);С. 20-23 | - |
dc.subject | плівка ZnO | uk |
dc.subject | мезопоруватий Si | uk |
dc.subject | високочастотне магнетронне розпилення | uk |
dc.subject | ZnO film | uk |
dc.subject | mesoporous Si | uk |
dc.subject | high-frequency magnetron sputtering | uk |
dc.title | Технологія одержання плівок ZnO на поверхні мезопоруватого кремнію | uk |
dc.type | Article | uk |
Appears in Collections: | Кафедра Вища математика та фізика |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Кідалов 20-23.pdf | 902.61 kB | Adobe PDF | View/Open |
Show simple item record
CORE Recommender
???jsp.display-item.check???
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.