Please use this identifier to cite or link to this item:
http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/10855
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Кідалов, В. В. | - |
dc.contributor.author | Дяденчук, Альона Федорівна | - |
dc.contributor.author | Дяденчук, Алена Федоровна | - |
dc.contributor.author | Diadenchuk, Alona | - |
dc.contributor.author | Батурин, В. А. | - |
dc.contributor.author | Рогозін, І. В. | - |
dc.contributor.author | Бачеріков, Ю.Ю. | - |
dc.contributor.author | Жук, А. Г. | - |
dc.contributor.author | Філоненко, М. М. | - |
dc.contributor.author | Карпенко, О. Ю. | - |
dc.contributor.author | Кідалов, В. В. | - |
dc.date.accessioned | 2020-05-28T06:46:39Z | - |
dc.date.available | 2020-05-28T06:46:39Z | - |
dc.date.issued | 2018 | - |
dc.identifier.uri | http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/10855 | - |
dc.description.abstract | UK: У даній роботі методом реактивного магнетронного ВЧ розпилення отримані плівки ZnO на підкладках кремнію орієнтації (100) з попередньо нанесеною системою макропор. Рентгенографічні дослідження ZnO показали, що вони мають полікристалічну природу з гексагональною решіткою типу вюрцит. Середні розміри кристалітів склали 12 нм. Мікроелементний аналіз виявив практично ідеальну стехіометричність ZnO вирощеного на porous-Si/Si. EN: In the present work, ZnO films on (100) silicon substrates with a pre-applied system of macropores were obtained by the method of reactive magnetron HF sputtering. X-ray studies of ZnO have shown that it has a polycrystalline nature with a hexagonal wurzite-type lattice. The average crystallite size was 12 nm. Trace element analysis revealed almost perfect stoichiometric ZnO grown on porous-Si/Si. | uk |
dc.language.iso | uk | uk |
dc.publisher | ЗДІА | uk |
dc.relation.ispartofseries | Елементи, прилади та системи електронної техніки (ЕПСЕТ-18): матеріали першої Міжнародної науково-практичної конференції;С. 23-25 | - |
dc.subject | реактивне магнетронне розпилення | uk |
dc.subject | плівка ZnO | uk |
dc.subject | макропоруватий Si | uk |
dc.subject | reactive magnetron sputter | uk |
dc.subject | ZnO film | uk |
dc.subject | macroporous Si | uk |
dc.title | Отримання плівок ZnO на макропоруватому Si (100) методом реактивного магнетронного розпилення | uk |
dc.type | Article | uk |
Appears in Collections: | Кафедра Вища математика та фізика |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
3.3. Отримання плівок ZnO на макропоруватому Si (100) методом реактивного магнетронного розпилення.pdf | 657.06 kB | Adobe PDF | View/Open |
Show simple item record
CORE Recommender
???jsp.display-item.check???
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.