Опис до патенту на корисну модель № 134157 "Спосіб отримання плівок ZnO методом радикало-променевої гетеруючої епітаксії з УФ-опромінення" - Рогозін, І. В.; Кідалов, В. В.; Дяденчук, Альона Федорівна; Дяденчук, Алена Федоровна; Diadenchuk, Alona (Міністерство економічного розвитку і торгівлі України, 2019)
Спосіб отримання плівок ZnO, який включає вирощування плівок при опроміненні лазером, що характеризується значним поліпшенням кристалічності отриманих плівок, причому процес отримання плівок проводять методом радикало-променевої гетеруючої епітаксії на монокристалічних підкладках ZnS, ZnSe, ZnTe, орієнтованих в площині (111), а УФ-опромінення сприяє збільшенню швидкості росту плівки при температурі 520 K
Keywords: плівка ZnO; вирощування плівок при опроміненні лазером; методом радикалопроменевої гетеруючої епітаксії з УФ-опромінення