Отримання плівок ZnO на макропоруватому Si (100) методом реактивного магнетронного розпилення - Кідалов, В. В.; Дяденчук, Альона Федорівна; Дяденчук, Алена Федоровна; Diadenchuk, Alona; Батурин, В. А.; Рогозін, І. В.; Бачеріков, Ю.Ю.; Жук, А. Г.; Філоненко, М. М.; Карпенко, О. Ю.; Кідалов, В. В. (ЗДІА, 2018)
UK: У даній роботі методом реактивного магнетронного ВЧ розпилення отримані плівки ZnO на підкладках кремнію орієнтації (100) з попередньо нанесеною системою макропор. Рентгенографічні дослідження ZnO показали, що вони мають полікристалічну природу з гексагональною решіткою типу вюрцит. Середні розміри кристалітів склали 12 нм. Мікроелементний аналіз виявив практично ідеальну стехіометричність ZnO вирощеного на porous-Si/Si. EN: In the present work, ZnO films on (100) silicon substrates with a pre-applied system of macropores were obtained by the method of reactive magnetron HF sputtering. X-ray studies of ZnO have shown that it has a polycrystalline nature with a hexagonal wurzite-type lattice. The average crystallite size was 12 nm. Trace element analysis revealed almost perfect stoichiometric ZnO grown on porous-Si/Si.
Keywords: реактивне магнетронне розпилення; плівка ZnO; макропоруватий Si; reactive magnetron sputter; ZnO film; macroporous Si