Пленки ZnO полученные на мезо- и макропористых подложках Si методом магнетронного напыления - Кидалов, В. В.; Дяденчук, Алена Федоровна; Дяденчук, Альона Федорівна; Diadenchuk, Alona; Бачериков, Ю. Ю.; Жук, А. Г.; Батурин, В. А.; Рогозин, И. В.; Филоненко, М. Н.; Карпенко, О. Ю.; Кидалов, В. В. (My University, 2019)
Одними из самых перспективных пленочных покрытий являются прозрачные проводящие оксидные покрытия, среди которых особое место занимает оксид цинка. Повышенный интерес вызван уникальной комбинацией оптических и электрофизических свойств оксида цинка. Оксид цинка (ZnO) имеет широкое технологическое применение, в частности, в фотоприемниках, коротковолновых полупроводниковых диодных излучателей (светоизлучающих диодах), тонкопленочных солнечных элементах, сенсорах газа, фотодетекторах и др. [1-2]. На данный момент остается актуальным вопрос о получении пленок оксида цинка с заданными функциональными характеристиками, способных найти широкое промышленное применение устройств на основе слоев ZnO.
Keywords: оксид цинка; получение пленок ZnO; метод магнетронного напыления