Опис до патенту на корисну модель № 132172 "Спосіб отримання плівок ZnO методом радикало-променевої гетеруючої епітаксії " - Рогозін, І. В.; Кідалов, В. В.; Дяденчук, Альона Федорівна; Дяденчук, Алена Федоровна; Diadenchuk, Alona (Міністерство економічного розвитку і торгівлі України, 2019)
Спосіб отримання плівки ZnO легованої азотом, за яким дана плівка отримана методом радикало-променевої гетеруючої епітаксії на підкладках ZnSe з використанням газу NO
Keywords: плівка ZnO; сучасна техніка