Опис до патенту на корисну модель № 132888 "Спосіб лазерного відпалу напівпровідника" - Морозов, Микола Вікторович; Морозов, Николай Викторович; Morozov, Mykola (Міністерство економічного розвитку і торгівлі України, 2019)
Спосіб лазерного відпалу напівпровідника, згідно з яким когерентне випромінювання лазера поділяють на два пучки, спрямовують під деяким кутом α один до одного на поверхню напівпровідника, створюють систему паралельних еквідистантних інтерференційних смуг та виконують відпал напівпровідника. При цьому обертають напівпровідник на кут π /2 навколо оптичної осі, яка нормальна до поверхні напівпровідника, повторюють лазерний відпал та отримують регулярну систему квантових точок
Keywords: лазерний відпал напівпровідника; технології отримання квантових точок; квантова наноелектроніка