Please use this identifier to cite or link to this item:
http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/10829| Title: | Опис до патенту на корисну модель № 132888 "Спосіб лазерного відпалу напівпровідника" |
| Authors: | Морозов, Микола Вікторович Морозов, Николай Викторович Morozov, Mykola |
| Keywords: | лазерний відпал напівпровідника;технології отримання квантових точок;квантова наноелектроніка |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | Міністерство економічного розвитку і торгівлі України |
| Abstract: | Спосіб лазерного відпалу напівпровідника, згідно з яким когерентне випромінювання лазера поділяють на два пучки, спрямовують під деяким кутом α один до одного на поверхню напівпровідника, створюють систему паралельних еквідистантних інтерференційних смуг та виконують відпал напівпровідника. При цьому обертають напівпровідник на кут π /2 навколо оптичної осі, яка нормальна до поверхні напівпровідника, повторюють лазерний відпал та отримують регулярну систему квантових точок |
| URI: | http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/10829 |
| Appears in Collections: | Патенти |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| getdocument (2).pdf | 243.22 kB | Adobe PDF |  View/Open |
Show full item record
CORE Recommender
???jsp.display-item.check???
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.